Í heimi nákvæmrar framleiðslu og yfirborðsfrágangs,seríumoxíðPússunarduft hefur orðið byltingarkennt efni. Einstakir eiginleikar þess gera það að nauðsynlegum þætti í fjölbreyttum pússunarforritum, allt frá viðkvæmum yfirborðum ljósleiðara til hátæknilegra skífa í framleiðslu hálfleiðara.
Pússunarferlið á seríumoxíði er heillandi blanda af efnafræðilegum og vélrænum ferlum. Efnafræðilega séð,seríumoxíð (Forstjóri₂) nýtir sér breytilega gildisstöðu seríumþáttarins. Í nærveru vatns við slípunina getur yfirborð efna eins og gler (að mestu leyti úr kísil, SiO2)₂) verður hýdroxýlerað.Forstjóri₂hvarfast síðan við yfirborð hýdroxýleraðs kísils. Það myndar fyrst Ce-O-Si tengi. Vegna vatnsrofs eðlis gleryfirborðsins umbreytist þetta síðan í Ce-O-Si(OH)₃skuldabréf.
Vélrænt séð er hið harða, fínkornaseríumoxíðAgnir virka eins og örsmá slípiefni. Þær skafa burt örsmáar ójöfnur á yfirborði efnisins. Þegar pússunarpúðinn færist yfir yfirborðið undir þrýstingi,seríumoxíðAgnir mala niður háu punktana og fletja yfirborðið smám saman út. Vélrænn kraftur gegnir einnig hlutverki í að brjóta Si-O-Si tengin í glerbyggingunni og auðvelda þannig fjarlægingu efnis í formi lítilla brota.Einn af merkilegu eiginleikunum íseríumoxíðPólun er hæfni þess til að stilla sjálfpólunarhraðann. Þegar yfirborð efnisins er hrjúft, þáseríumoxíðAgnir fjarlægja efni af miklum krafti með tiltölulega miklum hraða. Þegar yfirborðið verður sléttara er hægt að aðlaga slípunarhraðann og í sumum tilfellum jafnvel ná „sjálfstöðvunarástandi“. Þetta er vegna samspils seríumoxíðsins, slípunarpúðans og aukefnanna í slípunarmörinni. Aukefni geta breytt yfirborðsefnafræði og viðloðun milliseríumoxíðagnir og efnið, sem stjórnar á áhrifaríkan hátt slípunarferlinu.
Birtingartími: 17. apríl 2025
